荷兰刚把碳化硅外延炉和DUV光刻机加进对华禁单,格力就转身把30台进口设备订单,

文山史纪 2025-10-21 17:04:57

荷兰刚把碳化硅外延炉和DUV光刻机加进对华禁单,格力就转身把30台进口设备订单,换成了北方华创和中电科48所的国产货,交付还提前了四个月。 2025 年 9 月,荷兰刚把碳化硅外延炉和 DUV 光刻机加进对华禁运清单,连已经卖出去的设备维护都要审批卡脖子,明摆着想在半导体设备上限制咱们。 可没等多久,格力就宣布把原本要进口的 30 台设备订单,转给了北方华创和中电科 48 所,这笔订单足足 21.8 亿元,更让人意外的是,交货时间比原计划还提前了四个月。这事看着突然,其实都是早有准备的结果。 首先得说,国产设备现在是真能顶事了,不是以前那种 “凑合用” 的水平。中电科 48 所这次给格力供的 8 英寸碳化硅外延炉,激光定位、自纠偏这些实用技术都配齐了,今年 2 月就已经批量发过 30 台,客户那边用着一直挺稳,在缺陷密度控制上甚至比荷兰 ASMI 的同类产品还好。 北方华创更不用多说,他家的 AGF 系列 SiC 长晶炉专门做 6 英寸和 8 英寸的半导体晶体,用了多加热器设计,温控、压控都特别精准,工艺稳定性一点不差,而且炉体开启维护都很方便,中芯国际这些大厂的 28 纳米产线里,早就用上了他家的立式退火炉。 这两家 2023 年加起来交付的气相外延炉,占了国内新增采购量的 65% 以上,2024 年订单还分别涨了 25% 和 30%,能被这么多企业选择,实力肯定过关。 格力敢这么果断换单,可不是一时冲动,背后藏着好几年的准备。早在 2023 年,格力就开始对国产设备做严格测试,足足比对了 18 个月,光北方华创的刻蚀机就测了无数次,最后确认定位精度能到 0.012 毫米,轨迹也稳定在 0.432 毫米,完全符合生产要求。 而且格力自己早就不是只做空调的企业了,每年砸 69 亿搞研发,养着 1.6 万研发人员,还和电子科技大学建了联合研究中心,已经能量产 1200 伏车规级芯片,良率达到 78%,成本降了四成。 武汉的智能装备基地一年扩产三次,月产能从 6 台提到 20 台,库存一直很充足,这才敢拍板换单,不怕设备跟不上生产。 更关键的是,国产设备不光性能达标,服务和效率还更贴心。以前买进口设备,不光价格贵,交货得等大半年,出了问题维修更头疼,技术员过来要等一个月,调整个参数还得花大价钱。 现在换了国产的,北方华创和中电科 48 所的维修团队 2 小时内就能到场,参数想调整随时能弄,一点不耽误生产。这次提前四个月交付也不是运气,进口设备要走海运、报关,还得等国外厂家排期,国产设备就在国内生产,格力武汉基地离供应商又近,省去了中间好多环节,自然能抢工期。 这事也不是格力独一份的选择,整个行业早就在往国产替代上走了。2024 年一季度国内半导体设备采购额直接翻了一倍多,国产设备占比冲到 47%,中芯国际的 28 纳米产线里,国产设备已经占到六成以上。 要知道以前别说 8 英寸设备,连 6 英寸的都得全进口,现在能有这局面,全是靠企业一点点啃硬骨头啃出来的。 中电科 48 所为了搞离子注入机,整整钻研 20 多年,攻克了上千个技术难点,才实现 28 纳米工艺全覆盖;北方华创的立式炉出货都破 1000 台了,没真本事根本撑不下来。 荷兰搞禁运,本来想卡咱们脖子,没想到反倒给国产设备送了机会。格力这 21.8 亿订单,买的不光是 30 台设备,更是给国产设备投了张信任票。 当头部企业敢把真金白银砸进去,敢在实产线上验证,国产设备才能从 “能用” 变成 “好用”。现在上海微电子的 28 纳米 DUV 光刻机都通过验证了,良品率 90%,交货周期只要 3 个月,价格才是进口的 1/3;科益虹源的光源、国望光学的光学系统这些核心部件也都突破了垄断,国产设备的产业链越来越结实。 说到底,格力换单这事,看着是企业的一次采购调整,实际上是国产半导体设备这些年努力的结果。 从被卡脖子到能挑大梁,从依赖进口到提前交付,这一步步走得不容易,但也证明了只要踏实搞研发、企业敢支持,咱们自己的设备一样能顶起来,而且能顶得更好。

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