不容易,卡脖子领域又一突破,重点是已经形成产业化方案了。长期以来,光刻胶在显影液中的微观行为是“黑匣子”,工业界的工艺优化只能靠反复试错,这成为制约7纳米及以下先进制程良率提升的关键瓶颈之一。
猜你喜欢
【1点赞】
【3评论】【5点赞】
【1评论】【1点赞】
【2评论】【5点赞】
鄞钰评科技
感谢大家的关注
作者最新文章
热门分类
科技TOP
科技最新文章