ASML估计要难受了！近日，杭州城西科创大走廊传来一声闷雷——全国首台国产商业电

ASML估计要难受了！近日，杭州城西科创大走廊传来一声闷雷——全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已经点火测试，0.6 nm的定位精度、8 nm线宽，直接把实验室里的“量子刻刀”变成了能接单的商业化设备。过去荷兰人听美国的话，最先进的EUV对我们关闸，如今这道闸门被中国自己的工程师生生掰开了一道缝，而且缝还在越撕越大。

故事得从三年前说起。那时，之江实验室、中国科大等几家单位排队等进口电子束光刻机，结果一纸出口管制让订单全部冻结。买不到就自己干！浙大余杭量子研究院拉来省重点实验室、校友企业总部经济园，一起押上了全部筹码：教授带研究生、企业开需求清单、政府一路陪跑，把“实验室样品—量产产品”的死亡谷变成了15 个月的冲刺跑道。最惊险的一夜是今年年初，100 kV高压电源模块在极限测试中突然过流烧毁，整个团队连夜把3吨重的机柜拆成零件，48小时后重新点亮，电子束稳稳地刻出了第一张8 nm线宽的测试图形，那一刻实验室爆发出比过年还响的欢呼。

“羲之”并不是孤独的独行侠。上海光机所5月底刚刚把EUV光源实验平台的转换效率推到6%，6月30日又传出国产EUV采用全新LDP技术路线，第三季度就将进试产；上海芯上微装第500台步进光刻机8月交付，先进封装光刻机国内市占率冲到了90%；璞璘科技的纳米压印设备也在8月通过验收，直接对标日本最新机型。如果把高端光刻设备比作一场马拉松，中国已经从跟跑变成了并排冲刺，甚至在某些弯道开始领先半个身位。

算过账：国产EUV一旦量产，4 nm芯片的单片成本比进口设备低40%，光节省下来的外汇就能把下一代High-NA EUV的研发费全包了。荷兰ASML总裁温宁克在电话会议上三次擦汗的镜头被做成表情包全球疯传，因为中国市场曾经贡献其35%营收，而“中国刻刀”出现之后，这块蛋糕可能三年内归零。

更解气的是定价——“羲之”报价比国际同类产品低一截，已有多家企业和科研机构排队洽谈。曾经被卡脖子的中国实验室，如今可以拿着自己的设备反向吸引国外团队来合作，风水轮流转的剧情比爽文还爽。

好戏才刚刚开始。当国产EUV、电子束、纳米压印多条技术线同时起跑，荷兰人难受的日子还在后头。评论区聊聊：你觉得中国光刻机几年内能在全球市场反客为主？