中国科技重镇杭州市的官方媒体称，中国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州诞生，有望打破国际出口管制困局，精度比肩国际主流设备，标志着量子晶片研发从此有了中国刻刀。 中国首台国产商业电子束光刻机"羲之"在杭州问世，标志着我国在高端半导体设备领域取得关键突破。该设备精度达国际主流水平，将直接服务于量子芯片等前沿领域研发，有效缓解西方技术封锁下的"卡脖子"困境。值得注意的是，电子束光刻虽在量产效率上不及极紫外光刻（EUV），但在科研和小批量生产场景具有不可替代性。此次突破既展现了我国在半导体产业链的纵向攻坚能力，也揭示了自主创新的现实路径——从细分领域突围，逐步构建完整技术生态。在全球化退潮的背景下，此类核心设备的国产化不仅是技术安全问题，更是产业战略的必然选择。
中国科技重镇杭州市的官方媒体称，中国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州诞生，
中学物理传播者
2025-08-14 20:17:15
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