ASML：中方开始关闭EUV光刻机的大门

“图纸给你们也造不出！”这是ASML曾对中国芯片专家的嘲讽。然而2025年3月25日，中国科学院宣布的固态深紫外（DUV）激光技术，不仅让这句傲慢的预言沦为笑柄，更意味着中国半导体产业正式向3nm工艺发起冲锋。

这项技术究竟如何绕过ASML的专利封锁？它能否撕开芯片制造“铁幕”，终结EUV光刻机的垄断？答案藏在193纳米的一束光里。

全球芯片制造的“命门”是光刻机，而光刻机的核心是光源。ASML的DUV光刻机依赖氟化氙（ArF）准分子激光技术，通过氩气和氟气混合生成193nm波长的紫外光，但这一技术被2万多项专利层层封锁，且需消耗稀有气体、维护复杂、能耗惊人。中科院此次的突破，用全固态设计彻底颠覆了这一路径。

中科院的固态DUV光源基于Yb:YAG晶体生成1030nm红外激光，分两路转换：一路通过四次谐波生成258nm紫外光，另一路通过光学参数放大至1553nm，最终在硼酸锂晶体中混合为193nm激光。

这一设计无需氟气等有毒气体，体积缩小、能耗降低70%，且光谱纯度与ASML相当，直接瞄准3nm工艺需求。但短板同样明显：输出功率仅70mW（ASML为100-120瓦），频率6kHz（ASML为8k-9kHz）。

这意味着当前技术仅能满足实验室需求，离量产仍有距离，不过固态激光的工程优化空间更大，无需处理气体废料、结构简化后，功率提升的瓶颈可能被更快突破。

ASML曾断言“中国十年内造不出EUV光刻机”，但中企的DUV突围让局势突变，EUV光刻机依赖更短的13.5nm极紫外光，技术难度和成本极高，而DUV通过多重曝光也能实现7nm甚至3nm工艺。若中国凭借固态DUV实现高阶制程量产，EUV的“不可替代性”将被削弱。

ASML近期对华出口政策反复摇摆，甚至赞扬中国芯片技术发展太快，不公开对中企的光刻机供货数据，可见ASML已经嗅到了威胁，意识到中国正在关闭EUV光刻机的大门。

 固态DUV光源的意义不仅是技术替代，更是产业链自主的关键一环。目前，国产光刻机的双工件台、物镜系统、光刻胶等配套技术已逐步成熟，唯独光源长期受制于人。此次突破后，若功率和频率问题解决，中国将拥有完全自主的DUV光刻能力，甚至可能以更低成本挑战台积电、三星的3nm市场。

从“图纸造不出”到“另辟蹊径”，中国芯片的逆袭剧本再次印证：封锁越严，突破越狠。但这场战役远未结束——ASML的EUV仍是5nm以下工艺的霸主，而国产DUV何时能跨越从实验室到量产的鸿沟？你认为，中国芯片技术需要多久才能与国际巨头并驾齐驱？欢迎在评论区留下你的观点，一起见证“中国芯”的破局时刻！