全球首发!临港“小巨人”弥费科技发布新一代半导体天车系统
近日,中国AMHS(自动物料搬运软硬件集成解决方案)领军企业弥费科技(上海)股份有限公司(以下简称“弥费科技”)宣布,其自主研发的AMHS智能传输新一代天帆SKYSAIL系列OHT(天车)系统正式全球首发。
作为国内唯一通过8吋及12吋晶圆厂整厂验证的AMHS全方案供应商,弥费科技自主研发的天帆系统以四大核心技术突破与19项国际认证,树立了半导体智能制造领域的新标杆,标志着中国企业在高端晶圆厂核心系统装备领域实现从技术突围到国际领先的跨越。
据了解,弥费科技2014年成立于临港新片区,是中国AMHS天车系统领军企业。经过十年发展,公司构建了覆盖中国及海外的万平米级制造基地及国内最大,设施最完善的AMHS测试中心,并先后获得国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业等荣誉。
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全球首发
四大硬核科技定义AMHS天车新高度
据介绍,弥费科技天帆系列围绕客户核心价值,以综合性能领先打造AMHS新体验。在本次发布的天帆系列OHT(天车)系统中,新一代高速轨道型精密作业机器人OHT在平台化设计的基础上,涵盖三种型号,适配三种主流载具。
在技术上,天帆SKYSAIL系列OHT在算力、算法和数据实现三维突破,在架构、平台、机构和应用方面打造四层创新。具体体现在:
·运动性能突破:全球最薄895mm车身搭载自研高速低振伺服驱动算法,实现行业最高的5.5m/s直行速度及振动≤0.35g的极致平稳性;
·运营效率突破:首创“时空融合预测算法+智能岔道管控”双引擎,在300台OHT集群达成130秒以内平均搬运时间(ADT);
·极致可靠性设计:全球首个集成双机热备与通信冗余的AMHS专用高算力平台,支持各类快速故障切换和在线系统升级场景,实现切换零停机,运营零扰动和数据零丢失;
·全场景智能进化:支持弯道取放货、双向OHB取放货,高低轨混行等12项创新功能,给客户更大现场设备布局灵活性和传输工艺的柔性。
天帆SKYSAIL系列OHT(天车)系统的创新性,源自真实可靠的数据做支撑。弥费科技通过集成仿真技术,打造了新一代仿真验证平台DeepSim,拥有国内最大的2000平方米的AMHS全厂集成验证Demoline,进行高密度全工艺运营,涵盖30+OHT集群、高低轨1000m+轨道、50+成套设备对接;20万+次的工艺动作耐久测试,精准识别失效模式;4000小时核心零部件加速性能测试,保障运营可靠。目前,弥费科技已经通过全球通行的SEMI×CE双星认证。
02
十年磨一剑
“中国方案”重构全球AMHS产业格局
一直以来,在高端AMHS领域,日本厂商村田和大福垄断了全球90%以上的市场。弥费科技新一代天帆SKYSAIL系列OHT(天车)系统的研发成功,有望打破国际垄断,重构全球AMHS产业新格局。
弥费科技研发天帆系列OHT(天车)系统的故事,要从其创始人缪峰的创业经历说起。
2006年,缪峰毕业于上海大学自动化专业,毕业后先后入职华宏半导体、新加坡联电,分别担任自动化软件开发工程师、自动化物料搬运系统工程师。在联电工作其间,缪峰的工作就是维护日本村田的AMHS系统软件。面对日本企业90%以上的市场垄断,缪峰时常在心里发问,为何中国没能有一家与他们竞争的AMHS公司?他希望自己能做出属于中国自己的AMHS系统,以应对国内半导体“卡脖子”的风险。为此,2014年,缪峰踏上了自己的创业之路。
2018年,弥费科技正式开启AMHS业务。缪峰组建了强有力的团队,在2018年底至2024年连续开发了31款设备,从移动机器人到存储类设备,再到净化类设备,这些产品先后交付给全球30+半导体制造工厂。与此同时,AMHS天车系统也在不断地迭代演进。
本次发布的天帆SKYSAIL系列OHT(天车)系统,是弥费科技自主研发的第五代天车产品,已通过SEMI、CE等19项国际认证,关键指标超越行业标杆,成为极少数具备半导体全厂级落地能力的AMHS供应商。
“天帆系统的验证测试数据,证明中国AMHS技术已具备服务全球高端半导体制造的能力。”弥费科技创始人缪峰表示,“我们正与多家国际顶尖晶圆厂推进合作,以‘中国方案’重构全球AMHS产业格局。”
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积聚布局出海
助力全球半导体产业智能化升级
近年来,伴随着半导体制造工艺升级、晶圆尺寸增大以及自动化需求提升,AMHS(自动物料搬运系统)呈现快速增长趋势。从全球市场方面,2022年全球AMHS市场规模约为32亿美元,预计到2025年将增长至37亿美元。中国市场方面,2022年中国AMHS市场规模约为7亿美元,预计2025年将达到11亿美元。
AMHS不仅用于半导体制造,还广泛应用于先进封装、化合物半导体、面板制造、汽车电子、医疗、航空航天等领域。伴随着智能化与自动化发展,AI和物联网技术的融合将提升AMHS的调度和优化能力,同时受国际供应链不确定性和数据安全需求等因素影响,中国AMHS厂商有望获得更多市场机会。
作为行业领先的AMHS整体解决方案及核心零部件提供商,弥费科技已具备明显的行业竞争优势。截至目前,弥费科技已构建了覆盖中国及海外的万平米级制造基地及国内设施最齐全/技术标准最高的AMHS测试中心,拥有近300项知识产权,主导制定中国首个半导体天车系统标准《集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求》(T/SICA 006—2024)。
弥费科技的产品已覆盖传送、存储、净化设备及智能调度软件的完整自主技术体系,累计斩获超12000台设备订单,服务近40家全球头部晶圆厂及IDM企业,完成8吋及12吋产线AMHS系统整厂交付验收。公司也获得国家制造业转型升级基金高端装备产业生态伙伴、工信部智能制造综合标准化与新模式应用项目、上海市智能工厂、上海市大模型赋能平台等系列荣誉或奖项。
本次新一代天帆SKYSAIL系列OHT(天车)系统的发布,标志着弥费科技又迎来了新一轮跨越式发展的新契机。目前,弥费科技凭借“硬件+软件+服务”的一体化交付能力,正加速拓展欧美、东南亚市场,助力全球半导体产业智能化升级。
“对于未来的发展,我们充满信心。”弥费科技创始人缪峰表示,伴随着AMHS技术从自动化到智能化的发展,弥费科技将开启从接触性技术到非接触新构型技术的新探索,如基于磁悬浮轨道的非接触传输技术和基于空中机器人的立体作业技术等新形态。“在AMHS领域,我们的目标是世界前三!”缪峰对此信心满满。